楊傑提前把沉浸式光刻技讓瑞星科技公司研發出來就是爲了爲了解決國內現階段在半導體技術整體不足的情況。
現階段瑞星科技公司自工件臺上的運動精度只能控制在4納米,製造出來的光刻機只能保證極限製程工藝維持在90納米的,而三陽光學公司自己現在製造出來的鏡片光學數值孔徑只能達到0.5,距離德國蔡司製造出來的鏡組0.7還是有不小的距離。
不過今年上半年機牀研究院的超高精度設備研發部門會推出超高精度的數控磨牀,到明年初三陽光學公司應該能生產出更高數值孔徑的鏡組出來。
瑞星科技公司在光刻機跟刻蝕機的設計跟系統整合方面這些年已經逐步成熟了,這讓楊傑有信心在明年就可以大批量的生產出沉浸式光刻機出來,到時候可以大幅地降低國內晶圓廠的建設成本。
現在艾斯摩爾公司、尼康、佳能公司推出的氟化氪光源的光刻機一套要賣到兩千萬到五千萬美金之間,一座晶圓廠至少需要3到4臺,瑞星科技公司到現在已經在國內賣出去了三十多臺,在這個上面賺了差不多5億多美金,光刻機反倒是賣得最多,總共賣出去了六百多臺,每臺售價在一百八十萬美金,差不多賺了十多億美金,現在國外很多公司也是向瑞星科技公司開始下訂單採購刻蝕機。
其實從前年開始,瑞星科技公司就開始99下半年年就開始實現了盈利,楊傑這幾年總共向瑞星科技公司投入了接近二十多億美金,現在終於是見到了成效。
現在瑞星科技公司的研發人員超過了三千多人,並且積極地跟國內外的公司合作。
楊傑利用跟自己跟軍方良好的關係,將光刻機的10個分系統、數萬個機械件件、100多個傳感器分包給了給了國內的上千家研究所和數百家軍工企業來完成。
瑞星科技公司則是負責這些系統的整合和檢測驗收,自己主要的精力集中在幾個核心系統的研發。
軍方高層對此非常重視,更關鍵的是瑞星科技公司定製的這些系統雖然要求極爲嚴苛,但是給的訂金十分豐厚,去年一年交付產品從瑞星科技公司拿到的款項就達到了五十多億。
既然這麼賺錢,軍方自然是十分捨得下本錢,前年就把所有的生產設備全都更新了一遍,很多設備還是從機牀研究院定製的,並且加大了研發投入。
現在瑞星科技公司產品線分爲PAS系列和XT系列,其中PAS系列光源爲高壓汞燈光源,這種機型使用了瑞星科技公司自己設計生產的鏡組,鏡頭是三陽光學公司生產提供的,也採用了步進掃描沉浸式技術,因爲使用了沉浸式技術,這種波長在365納米的光源原本極限製程只能達到0.25微米,但是現在可以提升到了120納米,而且價格只有一千美金!
現在市場上尼康、佳能、艾斯摩爾三家主力都是以氟化氪激光光源爲主,極限製程工藝在130納米,高端的機型是以氟化氬激光光源的光刻機,極限製程工藝在65納米。
現在瑞星科技公司氟化氪激光光源光刻機極限製程工藝可以達到90納米,這還是因爲工件臺的進度不夠導致的,如果能把工件臺的運動精度控制在2納米,那麼製程工藝可以達到70納米左右!
瑞星科技公司在掌握沉浸式光刻技術後簡直像是一頭野蠻的公牛闖進了瓷器店一般,將這個原本只有三家瓜分的光刻機市場是攪得天翻地覆!
去年十月份瑞星科技公司推出的PAS系列機型銷售情況十分好,到現在總共是賣出去了五十多臺,而且差不多有一大半是海外的客戶,而採用氟化氪激光光源的XT系列也是賣出去了三臺。
倒不是瑞星科技公司不想賣,而是德國蔡司提供的鏡組就只有十幾套,剩下的都要留給中晶微和華越電子公司以及華晶集團,實在是沒貨了。
不過PAS系列的機型因爲產能供得上,不過瑞星科技公司現在產能也是很吃緊——人手不夠了。
在得知這個消息後,李開元也是格外高興,“提出沉浸式光刻機技術是你提出來的方案吧,之前幾年瑞星科技公司都是不聲不響的,現在技術成熟後馬上就推出了先進的產品,可以說是徹底地把這個市場格局給改變了,這證明科技創新纔是最重要的。”
“是呀,現在瑞星科技公司掌握了光刻機的核心技術,國外對我們在半導體產業的限制是越來越少了。”馬秋林笑着說道。
“比起淡馬錫集團公司的來訪,這個消息意義就更爲重大了。”李開元點頭道。
“這次中晶微公司收購了特許半導體的兩家晶圓廠,還要和特許半導體再合資興建一座十二寸的晶圓廠,這些晶圓廠的產能主要是用來生產什麼類型的芯片?”
孫世聰問道。
“主要是用來生產手機相機需要的圖像傳感器跟控制芯片。”
楊傑也是將自己的計劃向省裡的這些領導作出了詳細的說明。
“因爲圖像傳感器是一個用途非常廣泛的技術產品,我們公司把圖像傳感器當成了今後最重要的一個核心業務,尤其是在手機相機模塊裡面使用的圖像傳感器,這是以後圖像傳感器最大的一個細分市場之一。”
“根據我們公司對手機市場做出的調查,預計十年之後全球手機產銷量達到17億部,而拍照功能會成爲手機最重要的功能之一,光是這麼一款產品的對圖像傳感器的需求量就能達到十多億顆,這需要至少二十多座八英寸的晶圓廠,十二寸的晶圓廠也需要數座以上。”
“雖然說隨着製程工藝的進步,圖像傳感器可以做得越來越小,不過圖像傳感器需要足夠的進光量,芯片尺寸也不會縮小得太多,更多的是提升圖像質量。”
楊傑說道笑着說道:“所以說我收購特許半導體公司的兩座晶圓廠只能說是剛剛滿足現在我們公司接下來推出相機模塊的需要而已,接下來的幾年相機模塊會有一個爆發性的增長,我是希望國內能再上幾座晶圓廠,儘可能地把產能留在國內。”
“楊少,你們在圖像傳感器上這幾年下了非常大的功夫呀!”馬秋林感慨地說道。
“我們還是要加大研發力度,美國有30多家公司進行這方面的研發,歐洲也有7家公司,日本方面也有8家,臺灣也有8家,南韓也有1家,國內現在只有我們華興集團公司,這些公司在圖像傳感器上都非常有實力,我們公司只能硬着頭皮不停地投入研發進行技術創新,儘可能快的搶佔手機相機模塊整個市場。”
楊傑說道:“今後我們公司在圖像傳感器的研發方向主要是分爲幾個方向,第一個就是在單像素尺寸的工藝上想辦法,盡力地縮小單個像素的尺寸,在同樣尺寸下,讓分辨率可以做得更大,現在我們已經能把單個像素尺寸做到2.5微米,今年會推出一百萬像素的拍照手機。”
“第二個就是圖像傳感器的低照度,我希望我們公司生產的圖像傳感器以後低照度拍攝水平在不斷地提升,達到甚至超越了CCD的低照度拍攝水平,這樣以後手機相機可以在弱光環境下也能拍出很好照片出來。”
“另外就是圖像傳感器要具備拍攝高清視頻的需要,能夠達到每秒三十幀甚至每秒六十幀的視頻播放視覺需求,更高的幀速需要圖像傳感器和高速讀出電路的支持,這也是我們需要不斷改進的地方。”
“還有就是在圖像傳感器靈敏度和信噪比方面也需要不斷地改進,因爲他們決定了畫質。”