香江的天氣已經開始慢慢變涼。
此時已是華夏陽曆9月末下旬,華夏傳統佳節中秋纔是剛過。
經過四個多月的奮戰,香江積體電路製造有限公司新升級擴建的廠房內,1.2微米的芯片線設備已經全部安裝完畢,整個生產線的升級改造工期雖然接近尾聲,但是生產線設備的調試卻依舊在密鑼緊鼓進行中,場面熱火朝天。
這四個月,餘子賢也是來回往返於曰本和香江,協調各項示意。
此時,香積電生產線升級改造負責人曹飛副總經理和技術研發中心(實驗室規模已經升級)主任蔡俊傑帶着餘子賢和鹿島智樹、還有蔡俊傑的導師麻生俊一等人蔘觀即將升級完畢的廠房和生產線設備。
芯片製造廠房可以分爲6個獨立的廠區,每一區都包括數種晶圓製程相關設備。
在這一次的生產廠房擴建中,按照生產工藝工序流程,對每個區所需要的製程步驟開出設備規格,然後進行生產線自動化系統上線、設備裝機、製程調整和整合等工作,確認個產品的良率能夠順利達到要求。
一個集體電路的製造需要數百道的步驟,便是在這6個廠區中循環往復,多層建構而成,將MOS原件和電路設計的導線如蓋房子一樣,分層堆疊在晶圓上。每道製程中的量產規格,包括量測數據和相關製程參數設定,是採購和驗收設備的標準,也是每一家芯片大廠商的專利及核心技術的組成部分,而製程技術的實現則是需要通過購買的實現。
而此時的香積電已經基本掌握1.2微米芯片大規模製造工藝工序流程,包括其中的核心技術以及專利。
正在參觀光刻區域跟隨參觀的餘子賢,卻突然被穿着潔淨服的人攔住,餘子賢定眼一看,卻發現是程渡。
“餘總,佟若愚從曰本打來電話,現在遇到了一些麻煩!”
“麻煩?什麼麻煩?”此時的香積電生產線改造以及接近尾聲,目前剩下的主要工作就是對設備的最後調試。
因爲有大量廠家技術員的幫忙聯合調試設備,餘子賢現在很有信心,在生產線啓動就可以實現30%的良率。
尤其是ASML派遣了好幾個專家級的設備工程師到廠指導,甚至派了一個光刻工藝工程師常駐香積電,就爲了香積電光刻廠區以及設備的正常投運。
光刻是整個集成電路製造過程中耗時最長、難度最大的工藝,耗時佔芯片製造50%左右,成本約佔芯片生產成本的1/3。
所以,此時ASML的積極參與對於香積電生產線及時高良率投運的重要性不言而喻。
當然,ASML這樣做也不是沒有目的,畢竟在剛剛過去的8月,ASML公司推出了象徵着他開始走向成熟的 PAS5500 光刻機。此時的PAS5500 已經擁有了業界領先的生產力和分辨率,爲ASML打破尼康光刻機的市場壟斷奠定了堅實基礎。PAS 5500取得巨大成功似乎已經可以預見。
沒錯,ASML就是想安撫餘子賢,別讓餘子賢亂說話,然後等待PAS 5500新一代光刻機系列的發佈……
當然,此時的餘子賢自然不會那麼不知趣,只要ASML不變臉,餘子賢巴不得保持兩者之間良好的合作關係了。
讓餘子賢高興的是,到目前爲止,ASML依舊保持以往的技術援助熱情,生產線升級改造工作非常順利。
所以,此時餘子賢實在想不明白,曰本這邊,佟若愚會傳來什麼不好的消息?
餘子賢在給曹飛示意自己出去之後,就跟着程渡出了廠區。
回到辦公區域之後,餘子賢按照程渡給的電話回撥了過去。
“佟總,怎麼了?”
“老闆,剛剛發生了新狀況!之前給我們一直供應光刻膠的曰本丸紅公司突然通知,我們新引進1.2微米工藝製程所需要的光刻膠有可能暫時斷貨……”
“什麼?斷貨?之前不是合作的好好的麼?你再積極聯繫,一定要確認,究竟是丸紅會社的原因還是光刻膠供應廠家的原因導致的供貨中斷!”
餘子賢想不明白丸紅株式會社中斷供貨的原因。
半導體材料主要應用於晶圓制與芯片封裝環節。晶圓製造屬於前道工序,而芯片封裝就屬於芯片後道工序了。
而香積電芯片製造生產線就屬於前道工序;當然香積電也有一點芯片封裝能力,主要是爲技術研發中心配套建設的,但那時起封裝能力還很薄弱;在這一次的生產線擴建中,也捎帶的加強了芯片封裝能力的建設。
由於半導體制造與封測技術的複雜性,從晶圓裸片到芯片成品,中間需要經過氧化、濺鍍、光刻、刻蝕、離子注入、以及封裝等上百道特殊的工藝步驟,半導體技術的不斷進步也帶動了上游專用材料與設備產業的快速發展。
半導體材料是半導體產業鏈中細分領域最多的產業鏈環節,其中晶圓製造材料包括硅片、光刻膠、光刻膠配套試劑、溼電子化學品、電子氣體、 CMP 拋光材料、以及靶材等,芯片封裝材料包括封裝基板、引線框架、樹脂、鍵合絲、錫球、以及電鍍液等,同時類似溼電子化學品中又包含了酸、鹼等各類試劑,細分子行業多達上百個;
而丸紅株式會社(MARUBENI CORPORATION)是曰本具有代表性的大型綜合商社。自1858年創立以來,至今已有一百四十多年的歷史。公司總部設在東京和大阪,是日本五大綜合商社之一。
丸紅株式會社主要從事國內、進出口貿易、國際間商品技術服務貿易,並利用投資、融資等功能,經營領域不斷擴大,主要大國都設有海外分支機構和投資企業。
之前,香江電芯片生產線過程中使用到半導體材料幾乎全部由丸紅會社供應。
自從中曰開始建交恢復友好往來之後,丸紅株式會社就積極展開對華貿易。
如果不是丸紅會社,那就是光刻機的生產企業嘍。如果真是生產企業搞的鬼……想到這個可能,餘子賢就開始頭疼了。
光刻膠是光刻過程最重要的耗材,光刻膠的質量對光刻工藝有着重要影響。而目前在國內還沒有能夠生產與微米級光刻材料的廠家。
目前,光刻機幾乎由日美國家壟斷供應,尤其是這個時候的曰本企業。