一個小時之後,鹿島智樹、曹飛他們參觀返回辦公大樓。一行人在聽了餘子賢有關光刻膠有可能斷貨情況的簡要介紹之後,紛紛皺眉。
鹿島智樹也給大家簡要介紹了一下有關光刻膠的情況。
光刻膠是由感光樹脂、增感劑和溶劑三種主要成份組成的、對光敏感的混合液體。
利用光化學反應,經曝光、顯影、刻蝕等工藝將所需要的微細圖形從掩模版轉移到待加工基片上的圖形轉移介質,其中曝光是通過紫外光、電子束、準分子激光束、X射線、離子束等曝光源的照射或輻射,從而使光刻膠的溶解度發生變化。
按照應用領域分類,光刻膠主要包括印製電路板(PCB)光刻膠專用化學品(光引發劑和樹脂)、液晶顯示器(LCD)光刻膠光引發劑、半導體光刻膠光引發劑和其他用途光刻膠四大類。
光刻膠自1959年被髮明以來一直是半導體核心材料,隨後被改進運用到PCB板的製造,並於這幾年開始運用到平板顯示的加工製造。最終應用領域包括消費電子、家用電器、汽車通訊等。
光刻工藝約佔整個芯片製造成本的35%,耗時佔整個芯片工藝的40%~60%,是半導體制造中最核心的工藝。
以半導體光刻膠爲例,在光刻工藝中,光刻膠被均勻塗布在襯底上,經過曝光(改變光刻膠溶解度)、顯影(利用顯影液溶解改性後光刻膠的可溶部分)與刻蝕等工藝,將掩膜版上的圖形轉移到襯底上,形成與掩膜版完全對應的幾何圖形。
光刻技術隨着芯片集成度的提升而不斷髮展。爲了滿足集成電路對密度和集成度水平的更高要求,半導體用光刻膠通過不斷縮短曝光波長以提高極限分辨率。
世界芯片工藝水平此時已跨入微納米級別納,光刻膠的波長由紫外寬譜逐步至g線(436nm)、i線(365nm)。目前,半導體市場上主要使用的光刻膠包括 g 線、i 線兩類光刻膠,而光刻膠核心技術基本被曰本和美國企業所壟斷。
光刻膠不僅具有純度要求高、工藝複雜等特徵,還需要相應光刻機與之配對調試。一般情況下,一個芯片在製造過程中需要進行10~50道光刻過程,由於基板不同、分辨率要求不同、蝕刻方式不同等,不同的光刻過程對光刻膠的具體要求也不一樣,即使類似的光刻過程,不同的廠商也會有不同的要求。
針對不同應用需求,光刻膠的品種非常多,這些差異主要通過調整光刻膠的配方來實現。因此,通過調整光刻膠的配方,滿足差異化的應用需求,是光刻膠製造商最核心的技術。
聽着鹿島智樹的介紹,餘子賢也想到了此時國內半導體材料的發展情況。
國內半導體光刻膠起步很晚,就算是有一些廠家和院所生產的光刻膠,技術水平非常落後,只能應用於一些研究院所的小批量使用。
就算是在20年後,半導體材料生產產能主要集中在PCB光刻膠、TN/STN-LCD光刻膠等中低端產品,TFT-LCD、半導體光刻膠等高技術壁壘產品產能極少,仍需大量進口,從而導致國內光刻膠需求量遠大於本土產量。
更何談1991年的此時。
“剛纔,我已經讓佟若愚聯繫金智江和郝萌他,儘快搞清楚到底是什麼原因導致此次斷貨可能!”此時必須要搞清楚原因,才能對症下藥。
不過此時的餘子賢依舊想不通,目前香積電才僅僅是調試階段,就受到芯片製造材料的斷供,這實在有點讓人搞不明白!
此時,香積電所有的設備已經安裝到位,就算是設備的調試也進入了尾聲,馬上就可以一開始生產線最後的聯試,以及最後的試運行了。
因爲廠家技術人員參與多比較高,所以調試工作的進展比較快!甚至都不用等到10月1日了。
而之前魔芯科技派去美國亞利桑那州聯繫WDC公司人員,已經成功申請到了W65C02及W65C816微控制器的生產授權,WDC公司很樂意授權魔芯科技公司生產。
授權費用因爲簽署的是連續授權模式,也就是一直到6502芯片專利到期之前的十餘年之內,每年魔芯科技都要給給WDC公司支付授權費用。不過,因此每年的授權費用也大幅度下降,比餘子賢預計的要低了許多,每年80萬美元。不過WDC唯一的要求就是不允許再對第三方授權,只能用於魔芯科技參股或者控股公司所屬的電子產品。
而對於餘子賢想要的6502芯片8位和16位芯片繼續改進設計的授權,因爲魔芯科技資金的關係,暫時沒有簽署正式協議,只是簡單的簽署了一個意向協議。根據WDC公司初步透露的信息,這個授權費用不會太低,起步都在每年300萬美元。
有了授權協議,WDC公司直接提供了W65C02及W65C816芯片的全套設計版圖圖紙。
因爲W65C02及W65C816這些芯片都是成熟的芯片設計,所以芯片設計的版圖驗證、流片等環節都不用進行。可以直接將芯片版圖幾何數據標準(GDSII)格式的文件送到制板廠做掩膜板,掩膜板製作完成後便可上流水線生產,最後得到佈滿裸晶的裸片。
晶圓測試在芯片切割及封裝之前對裸片進行測試,以測試裸片是否合格。這些裸晶通過晶圓測試(CP test,也稱爲芯片功能測試)之後,對損壞裸晶進行標記,方便後續的良率分析和提升。
只要最後生產芯片良率達到預定目標,這一次的生產線改造就算是成功了。
這與後續的良率急需提升,就需要在持續進行設備微調,工藝工序的不斷改善中完成。
按照原計劃,第一步就是實現目前小博士學習機和大霸王遊戲機的芯片生產替代!
目前小博士學習機和大霸王遊戲機銷售火爆,華日電子每月所需要的8位版W65C02處理器芯片數量共計20萬塊左右。
而香積電生產線改造完成之後,因爲生產線初始良率偏低的緣故,前兩個月每月芯片產量大概在24萬塊波動(8000片晶圓*100塊*30%良率),後續芯產量會隨着良率的提高而提高。
按照計劃,香積電生產線良率要在三個月內提升至60%以上,半年內提升至80%以上,一年內滿產而且90%以上。
當良率提升至80%以後,良率的每一點提高都需要投入大量的資金,所以在90%以後,爲了資金性價比,一般都不會在專門花大代價去刻意提高了。
而且現在的情況,香積電8位版W65C02處理器半年的產量就夠華日電子使用1年有餘了。等到後半年,此刻正在全力秘密研發的大霸王版的SFC就會降臨,到時候就需要16位版本的W65C816處理器芯片了。屆時,香積電1.2微米生產線的纔算是真正派上用場。
畢竟,用1.2微米的工藝製程的生產線去生產3微米的芯片,確實有點性能浪費。
生產線改造完成之後的前期8位版W65C02生產,中途芯片類型的生產不會有變動,一方面爲了收集芯片生產數據,便於數據對比分析,進一步提高良率。只有到良率提高一定程度之後,將設備調到基本完美的狀態,纔會進一步試產與之匹配的1.2微米工藝製程。
計劃就是計劃,總是被突如其來的意外所改變……
就像現在,如果真的因爲光刻膠的原因,導致生產線停工,那餘子賢真的該哭無淚……儘管此時的餘子賢,對於丸紅株式會社發出的光刻膠可能中斷供應的通知感到無語,但是自己該做的事情和積極的應對還是非常需要的!
畢竟這個時候的香積電可不是一年前的四方電子管廠,對於國外或者直接說是曰本半導體發生的事情兩眼一抹黑。
這個時候的香積電,可是有自己來自曰本的大量高級管理人員和技術人員,他們在曰本還是有着大量的人脈的。
鹿島智樹以及他邀請來的幫助建設的技術團隊就不說了。
當然還有此時暫時爲隊友的ASML,他們也着急光刻膠被中斷。目前正在調試使用的小量光刻膠就是ASML提供的。這一次中斷的是後續生產中需要的大量光刻膠。
當然,這一次餘子賢最看重的還要說被蔡俊傑邀請來的導師麻生俊一。如果她能偶在必要的時候說兩句話,應該還是很有作用的。
麻生俊一可是東京都大學半導體實驗室副主任,也算是有着相當影響的前輩。這一次被蔡俊傑說動,來指導工作,可是非常不容易的。
當然該花的錢還是要到爲的,比如說,像他們這種級別,上門幫廠家解決一個小問題,都在5萬美元以上;如果是大問題,需要提供成套解決辦法,那對不起,就得簽署項目合同了,合同價沒個10萬、20萬的,好意思出手?
這一次,雖然因爲蔡俊傑的關係,導師直接沒有提出場費的問題,但是餘子賢知道,這個錢可不能省,不僅不能省,還得多給,沒看見麻生俊一後面還跟着兩個一男一女的蔡俊傑師弟師妹了……
這都是餘子賢眼饞的對象啊……當然只是饞才華、饞技能啊!餘子賢可不敢纏繩子!
尤其是在餘子賢鼓動蔡俊傑說服麻生俊一設置類似於國內這個時候“企業博士後科研工作站”的形式,和麻生俊一本人聯合組建香積電二級聯合實驗室的檔口……
計劃設立的二級聯合實驗室由負責香積電實驗室的蔡俊傑和麻生俊一聯合管理,每年計劃提供的費用不低於50萬美元,實驗項目主要有香積電下發的技術攻關爲主。至於聯合實驗室得最終得到的試驗技術與相應專利,權益按照香積電實驗室和麻生俊一7:3例進行分配。
如果第一年產生了比較好的實驗成果或者技術價值,香積電會在前一年的基礎上對下一年經費進行調整,幅度不會少於50%。
對於幾乎白得的一筆實驗經費,麻生俊一可是非常樂於接受的。也多了一個博士生試驗實習的地方……
對於這樣的合作,蔡俊傑也是非常樂於見到。畢竟,曰本當前在半導體領域的科技水平可是非常高的。就像前一陣子,一些實驗蔡俊傑不得不要藉助導師的實驗室來完成……
不過,餘子賢對於蔡俊傑樂於接受甚至積極推動這個實驗室的組建,餘子賢還有一點其他發現……
蔡俊傑在一言一行中,老是在偷看跟在麻生俊一的那名叫福田靜香的女博士,也就是蔡俊傑的師妹……而福田靜香好像沒有結婚,就是不知道有沒有男朋友……
好啊,餘子賢只是纏人家的才華,卻沒想到蔡俊傑是纏人家的人……才華or身子?!
對於此,餘子賢喜聞樂見……只要能纏來,餘子賢都可以省好多心了。
偷偷的,餘子賢給蔡俊傑暗示道:“今年,爲了獎勵你的那一套位於市區的110三室兩廳一廚一衛的房子,前兩天公司辦公室可是拿到了鑰匙,正準備通知給你鑰匙了,你要是今年能夠搞定你的師妹……或者說是結婚,我現在就再給你一個驚喜,公司付錢給你免費裝修……你只要拎包入住就行……”
蔡俊傑沒想到自己的這一點小秘密居然也被餘子賢給發現了……一時有點害羞。
“哎,我說大男人一個,有什麼害羞的?蔡叔走的時候,可是專門交代我一定要給你照顧好你!你這都30的人了,是不是該加把勁啊!
聽見餘子賢這樣說,蔡俊傑終於點頭道:“嗯,知道了。”
“那就好,對了,乘他們返回曰本還有幾天,你可得抓緊時間……比如說到香江的那些購物大街逛一逛啊,買一點女孩喜歡的亮晶晶的東西啊……不要害怕花錢,這一次我做主,給你報銷,下午到財務部領5萬元的活動經費!知道不……”
蔡俊傑聽見餘子賢替自己這麼着想,再一次害羞的低下了頭……
“我靠,你這樣怎麼可以?一定要拿出幹工作時的霸氣!對於女孩子一定要膽大心細,該出手時就出手,下班之後陪着逛街、吃飯,甚至必要的時候,可以搞一搞運動麼……纏她身子啊”
“我靠!”
蔡俊傑再一次成功的低下了頭……